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ASML、中芯國際雙雙“表態(tài)” EUV光刻機(jī)出貨正常

發(fā)布時(shí)間:2019-11-8 10:01    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: ASML , 光刻機(jī) , 中芯國際
來源:科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)

  去年4月,中芯國際向荷蘭ASML公司訂購了一臺(tái)EUV光刻機(jī),用于研究7nm及以下的先進(jìn)工藝。花費(fèi)超過1.2億歐元(約10億人民幣),預(yù)計(jì)今年底交貨,2020年正式安裝。來自日經(jīng)新聞消息稱,因?yàn)槭艿矫绹P(guān)切,ASML將延后對(duì)中國晶圓代工企業(yè)中芯國際出貨。

  消息發(fā)酵后,中芯國際股價(jià)因此受挫,今日跌幅一度超過6%。

  對(duì)此ASML與中芯國際均對(duì)此表示否定。

  11月7日下午,ASML向《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》獨(dú)家回應(yīng)稱,對(duì)于日經(jīng)新聞報(bào)道的關(guān)于交貨時(shí)程僅為其媒體推測,ASML從未評(píng)論或確認(rèn),對(duì)其將推測直接定性為事實(shí)作為新聞標(biāo)題并在文中闡述,表示抗議。

  ASML相關(guān)負(fù)責(zé)人強(qiáng)調(diào):“實(shí)際上在我們第三季度財(cái)報(bào)中,就已經(jīng)將相關(guān)情況進(jìn)行說明,根據(jù)瓦圣納協(xié)議(Wassenaar Arrangement),ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期,ASML已經(jīng)于到期前重新進(jìn)行申請(qǐng),目前正在等待荷蘭政府核準(zhǔn)。因此,關(guān)于“ASML決定延遲/終止出貨”的說法是錯(cuò)誤的,ASML系遵循法規(guī)行事,并一視同仁地服務(wù)我們?nèi)蚩蛻簟!?br />
  對(duì)于何時(shí)能拿到許可證,ASML相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,目前處于正常的流程狀態(tài)中,尚未掌握確切的時(shí)間。

  中芯國際剛剛也進(jìn)行回應(yīng):“極紫外光(EUV)還在紙面工作階段,未進(jìn)行相關(guān)活動(dòng)。公司先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利。目前,研發(fā)與生產(chǎn)的連結(jié)一切正常,客戶與設(shè)備導(dǎo)入正常運(yùn)作。”

  ASML是全球EUV光刻機(jī)的唯一供應(yīng)商,并且是全球市值最高的芯片設(shè)備制造商。ASML年收入約在 83 億歐元 (約 92 億美元) 左右。其中16%來自英特爾和美光等美國公司,19%來自中國。據(jù)了解,臺(tái)積電、三星已于2019年導(dǎo)入量產(chǎn)最先端產(chǎn)品的EUV設(shè)備,且蘋果預(yù)計(jì)2020年下半開賣的新型iPhone預(yù)估就會(huì)搭載采用該技術(shù)的CPU。

  中芯國際是我國最大的半導(dǎo)體制造公司,今年14nm制程已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),追平臺(tái)聯(lián)電14nm制程工藝,如果未能準(zhǔn)時(shí)拿到最先進(jìn)光刻機(jī)設(shè)備,或影響趕超臺(tái)積電的日程表。

  目前臺(tái)積電臺(tái)積電將包攬ASML今年的30臺(tái)EUV光刻機(jī)中的18臺(tái),不過量產(chǎn)的7nm制程仍是基于DUV(深紫外)工藝,今年3月份才啟動(dòng)7nm EUV的量產(chǎn)。而三星在去年就小規(guī)模投產(chǎn)了7nm EUV。

  不過,業(yè)內(nèi)人士透露,這批設(shè)備仍預(yù)計(jì)將在 2019 年底前出貨,并且在 2020 年底前完成裝機(jī)。

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