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Intel 助ASML研發450mm晶圓技術

發布時間:2012-7-12 09:45    發布者:eechina
關鍵詞: 450mm , 晶圓
說起ASML Holding N.V.(阿斯麥),你可能會感覺到很陌生,但是Intel、三星、海力士、臺積電、中芯國際等等這些聲名顯赫的巨頭,之所以一直能不斷把半導體工藝推向前進,很大程度上都要感謝這家來自荷蘭的全球光刻設備頂級巨頭背后默默的貢獻。沒有它提供的世界上精度最高、效率最高、應用最廣泛的光刻機,都得去喝西北風。(另外兩家能夠提供光刻機的是尼康、佳能)

今天,Intel宣布與ASML達成一系列協議,將向后者投資總計33億歐元(約合41億美元),用于加速450毫米晶圓技術、EUV極紫外光刻技術的研發,推動硅半導體工藝的進步。Intel預計,這一合作有望將兩項技術的部署周期縮短最多兩年,從而大大節省新工藝成本。

為此,Intel將分兩個階段進行投資。先期一方面在五年內拿出5.33億歐元(約合6.8億美元)現金,支持ASML 450毫米晶圓的研發工作,另一方面購買大約17億歐元(約合21億美元)的股權投資,約占ASML交易前發行股的10%。

后期如果能得到ASML股東的批準,Intel會在另一個五年內分別拿出2.76億歐元(約合3.4億美元)、8.38億歐元(約合10億美元),用于支持ASML加速開發極紫外光刻技術,以及購買另外5%的股份。

這樣,Intel將持有ASML 15%的股份(ASML將會出售總計25%的股份),股權投資總額25億歐元(約合31億美元)。做為交易的一部分,Intel也承諾提前購買ASML 450毫米晶圓和極紫外光刻的開發與生產設備。

很顯然,Intel在下一盤非常非常大的棋盤,而兩個為期五年的投資周期也表明,450毫米晶圓和極紫外光刻都不是短期內就能實現規模化量產的,需要砸下無數的人力物力和真金白銀。

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