|
三星電子公司目前正在開發一款專用于緊湊型數碼相機的MEMS快門，并已在相關學術會議上進行過報導。 該MEMS快門為直徑2.2mm的圓形，通過在玻璃基板上成型薄膜實現。即在玻璃基地上采用ITO（銦錫氧化物）成型透明電極，并在上面覆蓋一層光屏蔽薄膜。光屏蔽薄膜由36塊扇形薄膜組成，每塊扇形角度為10°，形成一個整圓形狀。每個扇形片都在圓周處與ITO膜粘貼，并在中心部分卷曲下降，此時，光屏蔽薄膜處于開放狀態，使得光能進入；當給ITO膜和光屏蔽薄膜提供30V電壓時，兩層膜上產生靜電力，光屏蔽膜將覆蓋整個ITO膜表面，此時，光屏蔽薄膜關閉并阻止光的進入。 在設計中，光屏蔽薄膜是可以卷曲的，因為它由兩層薄膜形成，如，一層薄的Al膜和一層薄的SiN薄膜，兩種材料具有不同的內應力，卷曲角度可以通過調整層厚以及控制每層膜的內應力來控制。 在有些情況下，通過快速傳輸圖像傳感器收集的圖像數據，可不需要在數碼相機中安裝快門。然而，如果是傳感器的像素數很高，如達到1000萬像素時，由于圖像數據傳輸速度的限制，導致單幀的傳輸時間變得較長，這使得抓拍告訴移動目標時不可避免地產生圖像扭曲。這就是高端數碼相機需要有物理阻光這一功能的原因。然而，機械快門過于龐大和昂貴，難以用于手機上的緊湊型相機中。針對此，三星公司打算使用MEMS快門技術解決尺寸和價格的問題。 但三星電子有關人士表示，目前還無法透露更詳細的技術細節，并稱至少要等到09年底，而且也沒有提及馬上將這一技術進行商業化的可能性。 |
