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激光二極管（Laser diode，LD）和垂直腔面發射激光器（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，VCSEL）在光通信、光譜學和其他許多重要應用中是兩種主要的元器件。隨著對上述應用的需求的增長，對這兩類基本元件的需求也隨之增長，這就要求人們更加注重于開發精確且成本經濟性好的生產測試策略。 典型的激光二極管模組由一個激光二極管和背光探測二極管組成。帶溫控的激光二極管模組還可以包括一個半導體制冷器（thermoelectric controller，TEC）和一個熱敏電阻以便對激光二極管工作溫度進行精確調節，如圖1所示。（另外，在高速激光二極管模組中還包括一個集成的調制器芯片，未在圖1中示出）。 圖1. 典型激光二極管模組 圖2. 簡化的垂直腔面發射激光器結構（來源：Kartalopoulos） 相比于標準的激光二極管，垂直腔面發射激光器VCSEL具有更為復雜的半導體結構，但其封裝結構一般更為簡單。典型VCSEL結構的剖面圖如圖2所示。不同于邊緣發射激光二極管，VCSEL可實現晶圓級測試，這一特點同時為VCSEL的測試提供了機遇和挑戰，在下面部分將對其進行探討。 需要記住的是，無論這兩種器件中的哪一種，都需要多步工序完成制造。制造中的每一個工藝步驟本質上關乎器件價值的增長，這決定了人們要在執行下一步組裝工藝之前進行元器件測試。例如，由于背光探測二極管失效導致整個激光二極管模組報廢的成本，要遠高于在組裝前對光電二極管進行完全測試的成本。快速靈活的測試方案對于減小測試的成本至關重要。 在本文中，詳細介紹了幾種可以滿足現今生產環境中高通量要求的、高成本效益的直流測試系統。 了解吉時利2602型源表更多信息，請戳http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/currentvoltage/2602/ 想與吉時利測試測量專家互動？想有更多學習資源？可登錄吉時利官方網站http://www.keithley.com.cn/ |
