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摘要：介紹了所研制的12 in 硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。首先，根據(jù)硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的任務(wù)和流程設(shè)計(jì)了系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。其次，設(shè)計(jì)了預(yù)對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)算法，采用最小二乘圓法對(duì)硅片圓心進(jìn)行定位；提出了檢測(cè)硅片缺口的邊緣變化率法和計(jì)算缺口基準(zhǔn)點(diǎn)的曲線擬合法。對(duì)預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行了誤差分析。最后，采用光學(xué)式預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法，對(duì)12 in 硅片進(jìn)行了預(yù)對(duì)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)研究。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明硅片缺口的重復(fù)定位精度小于4.8 um，預(yù)對(duì)準(zhǔn)時(shí)間為23 s，滿足設(shè)計(jì)要求。 下載全文 
硅片處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的研究.pdf
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