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來源：大半導體產業網 據韓媒報道，6月24日，三星旗下半導體設備子公司Semes表示，將正式批量生產此前全部依賴進口的ArF-i光刻Track設備“Omega Prime”2號機。Semes在韓國首次開發該設備，并于去年批量生產了1號機。 據了解，Semes此前主要生產用于KrF光刻的Track設備，為了應對光源波長線寬變短的新型光刻機，于是開發了ArF-i版本。 Semens首席技術官崔吉賢表示:“Omega Prime的開發將對今后的進口替代效果產生很大的影響。今后將持續推出以高附加值為中心的差異化設備，成長為技術創新企業。” |
