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來源：大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 據(jù)韓媒報道，6月24日，三星旗下半導(dǎo)體設(shè)備子公司Semes表示，將正式批量生產(chǎn)此前全部依賴進口的ArF-i光刻Track設(shè)備“Omega Prime”2號機。Semes在韓國首次開發(fā)該設(shè)備，并于去年批量生產(chǎn)了1號機。 據(jù)了解，Semes此前主要生產(chǎn)用于KrF光刻的Track設(shè)備，為了應(yīng)對光源波長線寬變短的新型光刻機，于是開發(fā)了ArF-i版本。 Semens首席技術(shù)官崔吉賢表示:“Omega Prime的開發(fā)將對今后的進口替代效果產(chǎn)生很大的影響。今后將持續(xù)推出以高附加值為中心的差異化設(shè)備，成長為技術(shù)創(chuàng)新企業(yè)。” |
