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并聯(lián)式四自由度定位平臺(tái)性能優(yōu)化

發(fā)布時(shí)間:2010-2-28 10:27    發(fā)布者:蹦蹦
關(guān)鍵詞: 并聯(lián)式 , 平臺(tái) , 性能 , 自由度
摘要:為了擴(kuò)展掃描電鏡的用途,實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)物性在線檢測(cè),本文基于4-PUU并聯(lián)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)了一種掃描電鏡定位平臺(tái)。其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,便于集成微操作裝置。為優(yōu)化平臺(tái)機(jī)構(gòu)的性能,本文建立了4-PUU機(jī)構(gòu)的空間尺寸模型,繪制了機(jī)構(gòu)性能圖譜,分析了機(jī)構(gòu)參數(shù)對(duì)機(jī)構(gòu)可達(dá)工作空間、靈巧性、速度性能的影響,得到了具有良好性能的平臺(tái)機(jī)構(gòu)參數(shù)。

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并聯(lián)式四自由度定位平臺(tái)性能優(yōu)化.pdf (519.51 KB)
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