并聯式四自由度定位平臺性能優化

發布時間：2010-2-28 10:27 發布者：蹦蹦

摘要：為了擴展掃描電鏡的用途，實現微結構物性在線檢測，本文基于4-PUU并聯機構設計了一種掃描電鏡定位平臺。其結構簡單，便于集成微操作裝置。為優化平臺機構的性能，本文建立了4-PUU機構的空間尺寸模型，繪制了機構性能圖譜，分析了機構參數對機構可達工作空間、靈巧性、速度性能的影響，得到了具有良好性能的平臺機構參數。

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