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來源：集微網 2024年4月已近在咫尺，屆時ASML將迎來創(chuàng)立四十周年——作為半導體行業(yè)的領先供應商，這家總部位于荷蘭費爾德霍芬的公司，因長期為芯片制造商提供硬件、軟件和服務，用以大規(guī)模生產集成電路（芯片）而聞名。 日前，ASML宣布2023全年凈銷售額達到276億歐元，毛利率為51.3%，凈利潤為78億歐元；同時，ASML預計2024年的凈銷售額將與2023年基本持平，預計2024年第一季度的凈銷售額約為50億至55億歐元，毛利率約為48%至49%。優(yōu)異的業(yè)績表現(xiàn)和市場影響力再一次和業(yè)界對ASML的期待畫上等號，光刻巨頭是如何在微觀世界里行穩(wěn)致遠的？ 無間合力“鐵三角”，微觀世界的“品控師” 當一艘船或一架飛機離開荷蘭駛向世界各地的晶圓廠時，ASML的設備或許就在其中。此后關于芯片制造的上千道工序中，ASML在核心環(huán)節(jié)推動“鐵三角”（即光刻機臺、計算光刻、光學和電子束量測）的緊密協(xié)作，并以全景光刻解決方案幫助芯片制造商生產更小、更強大、更智能的芯片。 ASML光刻技術的精妙享譽業(yè)內。ASML光刻機將芯片制造所需的電路圖案投射到晶圓上，而光刻扮演著定義工藝窗口的角色。筆者聽到的更為具象的形容是：“在中國，每臺ASML光刻機一年所曝光的晶圓片數(shù)量平均接近200萬片，將其相連的長度相當于5條黃浦江，疊加起來則相當于3座東方明珠塔。” 為避免芯片制造過程中的偏差，ASML電子束量測必須“挺身而出”，其以高分辨率大視場優(yōu)勢，更加精準地掃描晶圓收集數(shù)據(jù)并反饋給光刻機臺，高質量完成量測和檢驗。 如果說光刻機臺、光學和電子束量測是實力擔當，那么“鐵三角”中的隱形擔當則首推計算光刻軟件。其通過其數(shù)學物理模型，精確仿真光刻中真實的物理化學過程，在復雜條件中探索出最佳的光刻解決方案，指導后續(xù)光刻行為。ASML工作人員曾提出一個具體案例——某客戶采用ASML計算光刻產品，優(yōu)化自由形式的成像光源及與之匹配的掩模版圖，針對關鍵圖形和易缺陷圖形作成像增強，使得工藝窗口增大30%以上！ 數(shù)十年以來，集成電路制造工藝迅猛發(fā)展，微觀世界不斷迎來科技革命，推動芯片微縮、提高良率和產能已成為ASML技術變革的孜孜追求，“鐵三角”全景光刻解決方案在此進程中提供著重要支撐——以“晶圓成像專家”光刻機為主要抓手；輔以計算光刻及量測兩大技術，深度介入制造環(huán)節(jié)，并以“品控師”身份精密守住質量關，三者無間合力打造產業(yè)向前的牢固基石！ |
