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來(lái)源：集微網(wǎng) 2024年4月已近在咫尺，屆時(shí)ASML將迎來(lái)創(chuàng)立四十周年——作為半導(dǎo)體行業(yè)的領(lǐng)先供應(yīng)商，這家總部位于荷蘭費(fèi)爾德霍芬的公司，因長(zhǎng)期為芯片制造商提供硬件、軟件和服務(wù)，用以大規(guī)模生產(chǎn)集成電路（芯片）而聞名。 日前，ASML宣布2023全年凈銷售額達(dá)到276億歐元，毛利率為51.3%，凈利潤(rùn)為78億歐元；同時(shí)，ASML預(yù)計(jì)2024年的凈銷售額將與2023年基本持平，預(yù)計(jì)2024年第一季度的凈銷售額約為50億至55億歐元，毛利率約為48%至49%。優(yōu)異的業(yè)績(jī)表現(xiàn)和市場(chǎng)影響力再一次和業(yè)界對(duì)ASML的期待畫上等號(hào)，光刻巨頭是如何在微觀世界里行穩(wěn)致遠(yuǎn)的？ 無(wú)間合力“鐵三角”，微觀世界的“品控師” 當(dāng)一艘船或一架飛機(jī)離開荷蘭駛向世界各地的晶圓廠時(shí)，ASML的設(shè)備或許就在其中。此后關(guān)于芯片制造的上千道工序中，ASML在核心環(huán)節(jié)推動(dòng)“鐵三角”（即光刻機(jī)臺(tái)、計(jì)算光刻、光學(xué)和電子束量測(cè)）的緊密協(xié)作，并以全景光刻解決方案幫助芯片制造商生產(chǎn)更小、更強(qiáng)大、更智能的芯片。 ASML光刻技術(shù)的精妙享譽(yù)業(yè)內(nèi)。ASML光刻機(jī)將芯片制造所需的電路圖案投射到晶圓上，而光刻扮演著定義工藝窗口的角色。筆者聽到的更為具象的形容是：“在中國(guó)，每臺(tái)ASML光刻機(jī)一年所曝光的晶圓片數(shù)量平均接近200萬(wàn)片，將其相連的長(zhǎng)度相當(dāng)于5條黃浦江，疊加起來(lái)則相當(dāng)于3座東方明珠塔�！� 為避免芯片制造過(guò)程中的偏差，ASML電子束量測(cè)必須“挺身而出”，其以高分辨率大視場(chǎng)優(yōu)勢(shì)，更加精準(zhǔn)地掃描晶圓收集數(shù)據(jù)并反饋給光刻機(jī)臺(tái)，高質(zhì)量完成量測(cè)和檢驗(yàn)。 如果說(shuō)光刻機(jī)臺(tái)、光學(xué)和電子束量測(cè)是實(shí)力擔(dān)當(dāng)，那么“鐵三角”中的隱形擔(dān)當(dāng)則首推計(jì)算光刻軟件。其通過(guò)其數(shù)學(xué)物理模型，精確仿真光刻中真實(shí)的物理化學(xué)過(guò)程，在復(fù)雜條件中探索出最佳的光刻解決方案，指導(dǎo)后續(xù)光刻行為。ASML工作人員曾提出一個(gè)具體案例——某客戶采用ASML計(jì)算光刻產(chǎn)品，優(yōu)化自由形式的成像光源及與之匹配的掩模版圖，針對(duì)關(guān)鍵圖形和易缺陷圖形作成像增強(qiáng)，使得工藝窗口增大30%以上！ 數(shù)十年以來(lái)，集成電路制造工藝迅猛發(fā)展，微觀世界不斷迎來(lái)科技革命，推動(dòng)芯片微縮、提高良率和產(chǎn)能已成為ASML技術(shù)變革的孜孜追求，“鐵三角”全景光刻解決方案在此進(jìn)程中提供著重要支撐——以“晶圓成像專家”光刻機(jī)為主要抓手；輔以計(jì)算光刻及量測(cè)兩大技術(shù)，深度介入制造環(huán)節(jié)，并以“品控師”身份精密守住質(zhì)量關(guān)，三者無(wú)間合力打造產(chǎn)業(yè)向前的牢固基石！ |
