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美國惠普（Hewlett-Packard）開發出了靈敏度比市售量產產品高1000倍的MEMS加速度傳感器。該傳感器技術可用于監視橋梁等建筑物、進行健康監測、發現礦物和油井等以及進行地震監控。 此次的傳感器技術采用了在惠普實驗室（HP Labs）研究出來的微流體技術。這是一種控制微量液體的流量和噴出等的技術。已用于打印頭和生物芯片等產品中。此次，該公司證實該技術可用于檢測加速度，而且除了可提高靈敏度外，還能降低功耗。噪聲密度為100ng/√Hz，是量產產品的1/1000級，因此可開發出高靈敏度和高分辨率的加速度傳感器。除單軸產品外，還可開發出雙軸等多軸產品。 惠普開發加速度傳感器是為了用于實時傳感用戶和計算機等周圍環境的時代。如果能夠分散安裝大量傳感器，便可將此前沒能放入計算機中的各種信息數字化后加以利用，正確且迅速的決策和控制將成為可能。 |
