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全新的射頻電源和可選擋位匹配器為下一代等離子體工藝提供精準(zhǔn)的重復(fù)控制和動態(tài)響應(yīng) 美國Advanced Energy公司推出一款綜合的射頻電源傳輸解決方案，該方案結(jié)合了先進(jìn)的數(shù)字控制電源和精確的數(shù)字阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)。針對薄膜工業(yè)應(yīng)用設(shè)計的ALTA平臺具有超強(qiáng)適應(yīng)能力及控制精確性和重復(fù)性,增強(qiáng)了工藝穩(wěn)定性并提供最佳產(chǎn)能。 
ALTA平臺包含了13.56MHz的機(jī)架式電源，功率范圍1.5KW至6KW，以及一個13.56MHz的抽頭數(shù)字式匹配網(wǎng)絡(luò)。該系列產(chǎn)品面向不同行業(yè)等離子體工藝對精度，可靠性和重復(fù)性上的要求進(jìn)行了優(yōu)化。這些行業(yè)包括太陽能電池面板，平板顯示起，精密光學(xué)器件和汽車玻璃制造。 “隨著薄膜制造技術(shù)的發(fā)展和等離子快速轉(zhuǎn)換成為常態(tài)，對結(jié)合精確的射頻控制和對等離子快速轉(zhuǎn)換的動態(tài)響應(yīng)的電源解決方案的需求越來越大，”美國Advanced Energy公司等離子電源產(chǎn)品高級市場營銷總監(jiān)Dhaval Dhayatkar表示。“ALTA電源提供了幾個先進(jìn)的功能，包括頻率調(diào)整、功率和阻抗實(shí)時測量、嚴(yán)密的功率調(diào)節(jié)、電弧管理和相位同步。” ALTA電源還能進(jìn)行全數(shù)字控制和對快速等離子體變化的動態(tài)響應(yīng)，確保穩(wěn)健、可靠的功率傳輸。ALTA匹配網(wǎng)絡(luò)提供了調(diào)諧的多樣性，其多接頭線圈系統(tǒng)可輕松進(jìn)行調(diào)諧，以適應(yīng)不同阻抗范圍。重復(fù)響應(yīng)能力可最大程度減少每個匹配器之間以及重復(fù)工藝之間產(chǎn)生造成的功率偏差。 ALTA平臺通過利用先進(jìn)的數(shù)字架構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)極其精確的過程測量和控制，以及與最先進(jìn)的通信接口（如EtherCAT和Profinet）的系統(tǒng)無縫集成。 有關(guān)詳細(xì)的產(chǎn)品信息和技術(shù)規(guī)格，請訪問https://www.advancedenergy.com/p ... ma-generators/alta/ |
