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意法半導體（STMicroelectronics，簡稱ST）大幅提升MEMS生產線的產能，預計至2011年底, 傳感器日產能將超過300萬顆，以滿足客戶對高性能、低價格傳感器的爆炸性增長的需求。 2006年，意法半導體全球首創在8英寸晶片上生產MEMS傳感器，從而大幅降低了產品的單位成本，推動了現有MEMS應用的增長和新MEMS市場的發展。意法半導體MEMS產品主要制造廠包括在意大利Agrate和Catania的傳感器制造廠、法國Rousset和Crolles的邏輯裸片制造廠以及馬耳他Kirkop、和菲律賓Calamba的封裝測試廠。 意法半導體MEMS傳感器制造技術受益于其研發的全球領先的制程。THELMA（Thick Epi-Poly Layer for Microactuators and Accelerometers）表面微機械加工制程被用于制造加速計和陀螺儀，這項工藝混合使用薄厚不一的多晶硅層制造傳感器的結構和連接件，能夠在同一顆芯片上整合線性和角運動機械元件，讓客戶能夠大幅降低產品的成本和尺寸。互補性VENSENS （‘Venice Sensor’）制程可在單晶硅片內整合氣室，制造尺寸和性能出色的微型壓力傳感器。 大吞吐量處理能力已成為MEMS廠商承受高速增長的市場需求的艱巨挑戰之一，同時也是取得市場成功的關鍵。意法半導體先進的MEMS封裝測試平臺既能并行處理大量的傳感器芯片，又為每個芯片提供恒定且重復的測試激勵信號，從而大幅提高生產線的整體產能。 意法半導體的MEMS傳感器讓智能手機、平板電腦、個人媒體播放器、游戲機、數碼相機及遙控器等主流消費電子設備具有運動控制式用戶界面。計算機廠商廣泛使用意法半導體的加速度計傳感器進行自由落體檢測，保護筆記本電腦的硬盤驅動器；汽車配套廠商將意法半導體的MEMS傳感器用于安全氣囊、導航系統等汽車設備中。 |
