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目前看來，碳納米管的潛在用途是無窮無盡的，僅在半導體行業就存在著大量的潛在應用。研究人員已經成功將碳納米管用于FET開關、消費電子存儲器，以及下一代電視機的場發射顯示器中。研究人員還在嘗試在傳感器應用中利用碳納米管來探測分子顆粒，支持某些國家安全類的應用。此外，人們還在努力探索在數字邏輯中使用碳納米管。 對于碳納米管和其它一些低功耗納米器件，從事半導體和納米技術研究的人們一直面臨著諸多挑戰。其中一大挑戰就是，無論對于當前一代半導體器件，還是對于下一代納米電子器件，對極其微小的電路單元進行電氣特征分析都是很困難的。 第二大挑戰是，當功耗限制變得非常關鍵時，如何對下一代納米器件進行特征分析。隨著器件和元件的特征尺寸縮小到納米級，研究人員不得不限制用于特征分析的電信號強度。 最后，對納米器件進行探測始終是一大挑戰。隨著晶體管柵極特征尺寸小于90nm以及間距大小不斷縮減，大多數探測系統的最小探測點尺寸卻仍然保持在50微米左右。這一局限性在很大程度上導致探針移動和針尖尺寸不準確。必須采用具有納米級移動精度并且電流測量精度高于1pA的新探測工具（如圖1所示）才能解決這個問題。 本文將著重介紹對碳納米管、低功耗器件進行特征分析的測量技術，以及克服各種測量誤差的方法。 下載： 
碳納米管和低功耗納米器件電氣特征分析的技巧.pdf
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