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來源：科技日報(bào) 11月29日，中科院研制的“超分辨光刻裝備”通過驗(yàn)收。消息傳著傳著，就成了謠言——《國產(chǎn)光刻機(jī)偉大突破，國產(chǎn)芯片白菜化在即》《突破荷蘭技術(shù)封鎖，彎道超車》《厲害了我的國，新式光刻機(jī)將打破“芯片荒”》…… 筆者正好去中科院光電所旁聽此次驗(yàn)收會(huì)，寫了報(bào)道，還算熟悉，無法茍同一些漫無邊際的瞎扯。 中科院研制的這種光刻機(jī)不能（像一些網(wǎng)媒說的）用來光刻CPU。它的意義是用便宜光源實(shí)現(xiàn)較高的分辨率，用于一些特殊制造場景，很經(jīng)濟(jì)。 先解釋下：光刻機(jī)不光是制造芯片用。一張平面（不論硅片還是什么材料）想刻出繁復(fù)的圖案，都可以用光刻——就像照相，圖像投在感光底片上，蝕掉一部分。半個(gè)多世紀(jì)前，美國人用這個(gè)原理“印刷”電路，從而有了大規(guī)模集成電路——芯片。 為了節(jié)能和省硅料，芯片越做越小，逼得光刻機(jī)越做越極端。線條細(xì)到一定程度，投影就模糊了。要清晰投影，線條粗細(xì)不能低于光波長的一半。頂尖光刻機(jī)用波長13.5納米的極紫外光源，好刻10納米以下的線條。 但穩(wěn)定的、大功率的極紫外光源很難造，一個(gè)得3000萬元人民幣。要求工作環(huán)境嚴(yán)苛，配合的光學(xué)和機(jī)械部件又極端精密，所以荷蘭的ASML公司獨(dú)家壟斷極紫外光刻機(jī)，創(chuàng)造了“一臺賣一億美金”的神話。 十幾年前，國際上開始對表面等離子體（surface plasma，SP）光刻法感興趣。中科院光電所從2003年開始研究，是較早出成果的一個(gè)團(tuán)隊(duì)。所謂SP，光電所的科學(xué)家楊勇向筆者解釋：拿一塊金屬片和非金屬片親密接觸，界面上有一些亂蹦的電子；光投影在金屬上，這些電子就有序地震蕩，產(chǎn)生波長幾十納米的電磁波，可用來光刻。 但這種電磁波很弱，所以光刻膠得湊近了，才能刻出來。且加工精度與ASML的光刻機(jī)沒法比。刻幾十納米級的芯片是沒法用SP光刻機(jī)的，至少以現(xiàn)在的技術(shù)不能。 
項(xiàng)目副總設(shè)計(jì)師胡松研究員介紹超分辨光刻裝備研制項(xiàng)目攻關(guān)情況（供圖：中科院科技攝影聯(lián)盟） 驗(yàn)收會(huì)上也有記者問：該光刻設(shè)備能不能刻芯片，打破國外壟斷？光電所專家回答說，用于芯片需要攻克一系列技術(shù)難題，距離還很遙遠(yuǎn)。 總之，中科院的22納米分辨率光刻機(jī)跟ASML壟斷的光刻機(jī)不是一回事，說前者彎道超車，就好像說中國出了個(gè)競走名將要超越博爾特。 各家媒體第一時(shí)間報(bào)出的信息，就我看到的還算中規(guī)中矩。但后來網(wǎng)媒添枝加葉，搞到離譜。有些傳播者為吸引眼球、賺錢，最愛制造“自嗨文”和“嚇尿體”。聽到國產(chǎn)科技成就先往大里吹，驢吹成馬，馬吹成駱駝，好賣個(gè)駱駝價(jià)。 這種“科技報(bào)道”是滿足虛榮心的偽新聞。行家聽了眉頭一緊，避之大吉。也難怪許多科學(xué)家怕上新聞。 |
