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Veeco 公司 (Nasdaq: VECO)和ALLOS Semiconductors (ALLOS)達成了一項戰略舉措，展示了200mm硅基氮化鎵晶圓用于藍/綠光microLED的生產。維易科和ALLOS合作將其專有外延技術轉移到Propel 單晶圓MOCVD系統，從而在現有 的硅生產線上實現生產micro-LED。 “使用Propel反應腔，我們就擁有了一項MOCVD 技術，這項技術能夠實現高產量的GaN外延，滿 足在200毫米硅生產線上生產micro-LED器件的所有要求，” ALLOS Semiconductors的首席執行官 Burkhard Slischka這樣說。“不到一個月時間我們就已經在Propel上對我們的技術進行了驗證， 并且獲得了無裂紋、無回熔的晶圓，翹曲度低于30微米，晶體質量高，厚度均勻性優異，波長均 勻性小于1納米。同Veeco攜手，ALLOS期待著將該技術在micro-LED產業中更為推廣。” Micro-LED顯示技術由<30x30平方微米的紅、綠和藍(RGB)無機LED組成，這些LED被轉化為顯示屏 背板，以形成亞像素。與有機LED(OLED)和液晶顯示(LCD)相比，這些高效的LED直接發射功耗更低 ，卻可以為移動顯示器、電視和可穿戴式計算機提供優異的亮度和對比度。Micro-LED的制造要求 優質、均勻的外延晶圓，以滿足顯示屏的產量和成本控制的要求。 “和競爭對手的MOCVD平臺相比， Veeco的TurboDisc技術提供的制程窗口更大，因此Propel能 提一流的均勻性同時還能獲得優良的膜品質，”維易科高級副總裁兼MOCVD運營總經理Peo Hansson博士這樣說。“將Veeco領先的MOCVD專業技術和ALLOS的硅基氮化鎵外延晶片技術相結合 ，使我們客戶能夠開發出低成本的micro-LED，以便于在新的市場中開拓新的應用。” |
