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電容式濕度傳感器，是濕度傳感器中常用的一種儀器，它是以高分子濕度濕敏電容器為基本感濕元件，此類濕敏元件實際上是一種吸濕性電解質材料的介電常數隨濕度而變化的薄片狀電容器，感濕材料為聚酰銨樹脂，酰根纖維素和金屬氧化物如AL2O3等。利用單片機對測量結果進行分析處理、顯示和遠距離傳輸，測量準確度達±2.5%。主要由濕敏電容和轉換電路兩部分組成。它由玻璃底襯、下電極、濕敏材料、上電極幾部分組成。兩個下電極與濕敏材料，上電極構成的兩個電容成串聯連接。 
濕敏材料是一種高分子聚合物，它的介電常數隨著環境的相對濕度變化而變化。當環境濕度發生變化時，濕敏元件的電容量隨之發生改變，即當相對濕度增大時，濕敏電容量隨之增大，反之減小(電容量通常在48～56pf間)。傳感器的轉換電路把濕敏電容變化量轉換成電壓量變化，對應于相對濕度0～100%RH的變化，傳感器的輸出呈0～1v的線性變化。 國外廠家比較優質的濕度傳感器產品主要使用聚酰胺樹脂，產品結構概要為在硼硅玻璃或藍寶石襯底上真空蒸發制作金電極，再噴鍍感濕介質材料（如前所述）形式平整的感濕膜，再在薄膜上蒸發上金電極，金的原度控制在70Um 左右，以保證水蒸汽順利通過.濕敏元件的電容值與相對濕度成正比關系，線性度約±2%濕敏電容與相對濕度關系圖。
深圳市工采網從國外進口的電容式濕度傳感器 - HS1101LF，是一款電容式相對濕度傳感器，濕敏傳感器HS1101/HS1101LF傳感器基于獨特工藝設計的濕敏電容元件。全互換性，在標準環境下不需校正，長時間飽和下快速脫濕，可以自動化焊接，包括波峰焊，高可靠性與長時間穩定性，專利的固態聚合物結構，可用于線性電壓或頻率輸出回路，快速反應時間快。應用于溫濕度儀表，辦公室自動化，汽車駕駛室空氣控制，家用電器，工業過程控制系統等領域。 |
