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MEMS Analysis Tool

發布時間：2017-11-3 13:38    發布者：lynceetec
采用數字全息原理，CCD記錄樣品全息圖，根據全息圖包含的相位信息實時重建三維形貌。做到了縱向亞納米分辨率，1000fps采集速率。可以在樣品上任意點測量xyz復雜運動位移、振幅、速度、頻率和三維形貌等信息，還可掃頻進行諧振研究。
如圖所示壓電陶瓷執行器，選取了三點進行xyz方向振幅位移頻率等測量，采取4路正弦電源相位分別相差90°，研究其行波運動。

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