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全自動高速晶圓級參數測試解決方案面向最新的功率半導體器件，包括高達3 kV的SiC和GaN 泰克科技公司日前推出Keithley S540功率半導體測試系統，這是為高達3kV的功率半導體器件和結構提供的一種全自動48針參數測試系統。全集成S540是為用于最新復合功率半導體材料而優化的，包括金剛砂(SiC)和氮化鎵(GaN)，可以在一個探頭接入中執行所有高壓測試、低壓測試和電容測試。 
隨著對功率半導體器件的需求不斷提高，同時也隨著SiC和GaN日益商業化，制造商正在生產工藝中采用晶圓級測試，以優化良品率，改善盈利能力。對這些應用，S540最大限度地縮短了測試時間和測試設置時間，減少了占用空間，同時實現了實驗室級高壓測量性能，降低了擁有成本。 “許多鑄造廠正使用定制的混合測試系統，來執行功率半導體測試，在從低壓測試轉向高壓測試時，這要求手動改變測試設置。正如大家預想的一樣，這會增加工藝步驟，延緩生產速度。”泰克科技公司吉時利產品線總經理Mike Flaherty說，“相比之下，S540是一種完整的全集成解決方案，特別適合必須迅速測試各種器件的生產環境。” 為提供生產級性能，S540可以在最多48針上執行參數測量，而不用改變電纜或探頭插件設施。它還可以執行高達3kV的晶體管電容測量，如Ciss、Coss和Crss，而無需手動重新配置測試引腳。S540還提供了pA級測量性能，可以在不到1秒內執行全自動高壓泄漏電流測試，進一步提升了測試產出。 作為標準商業產品，S540提供了可以全面追蹤的系統指標，滿足安全規范，并提供了診斷功能及全球服務和支持，而內部開發或定制的系統經常會缺失這些功能。S540秉承吉時利30余年的半導體參數測試經驗，把行業領先的半導體測試儀器與高低壓開關矩陣、線纜、探頭插件適配器、探頭驅動器和測試軟件整合在一起。 |
