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近年來，MEMS傳感器在消費類電子產品中的應用呈現快速增長的趨勢，在智能手機、平板電腦、筆記本電腦等智能移動終端、物聯網相關的智能電子標簽、智能玩具等領域得到越來越多的應用。 士蘭微電子在三年多前開始進行MEMS傳感器技術和產品的研發，得益于設計/制造一體的模式，士蘭微電子在MEMS傳感器件的設計、信號處理芯片的設計、MEMS芯片工藝制造技術、MEMS封裝技術、傳感器測試技術等相關的技術領域投入了全方位的研發資源，并于近期取得實質性進展，推出了三軸加速度傳感器SC7A30和三軸磁傳感器SC7M30。 這兩款產品均采用3.0mm x 3.0mm x 1.0mm的LGA封裝，可應用于智能手機和平板電腦等各種場合。更小尺寸外形（2.0mm x 2.0mm x 1.0mm）的產品即將在年內推向市場。 士蘭微電子的加速度傳感器采用厚多晶質量塊技術方案，磁傳感器采用鐵電薄膜材料的各向異性磁阻效應（AMR）制作。這兩類傳感器的芯片制造均在士蘭微電子的芯片生產線上完成，封裝在士蘭微電子的封裝工廠進行。 經過三年多的技術研發，士蘭微電子已經掌握了加速度和磁傳感器研發與生產、測試各個環節的核心技術。同時，設計制造一體的模式將有利于產品質量/成本的控制，公司陸續推出的MEMS傳感器產品將以其優良的性能和極具競爭力的價格打破歐美廠家的壟斷。 士蘭微電子的MEMS傳感器研發得到了國家科技重大專項的支持，目前同時在進行的研發項目還有陀螺儀和壓力傳感器產品，預計今年年內還將推出三軸陀螺儀產品以及6軸/ 9軸組合傳感器產品。 |
