MEMS即微機電系統，是利用微米級立體結構實現感應和執行功能的一項關鍵技術。其中，微米級立體結構是利用被稱為“微加工”的特殊工藝實現的微米大小的立體機械結構。 因為技術和經濟的原因 ...

硅微加速度傳感器是。MEMS器件中的一個重要分支，具有十分廣闊的應用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優點，而且該種傳感器在強輻射作用下能正常工作，使 ...

引言 加速度傳感器一直是振動測試中的重要元件。ADXL203加速度計是美國模擬器件（ADI）公司的新型單芯片雙軸傳感器，測量范圍是±1.7g.可以承受3500g振動沖擊。相對于傳統的加速度計，他的 ...

摘要：RF MEMS移相器具有傳統移相器所無法比擬的體積小、損耗小、成本低、頻帶寬、易于集成等突出優點。通過在共面波導信號線上貼敷低介電常數的薄層絕緣介質,使得MEMS金屬橋與共面波導信號線在 ...

隨著蘋果iPhone和任天堂Wii游戲機的流行，加速度傳感器在消費類電子設備中得到了廣泛的應用。例如，筆記本中的跌落保護、MP4/手機中的屏幕自動翻轉、輕敲手機掛斷電話以及手機“翻轉靜音”等等 ...

硬盤讀寫頭、微顯示器（Microdisplays）和微量噴墨頭,目前占據著70%以上的MEMS市場。而汽車電子、移動通訊、消費電子、以及醫療檢測等領域,將是MEMS技術產業化應用的新熱點。ST微電子MEMS事業單 ...

1 引 言 隨著消費類電子產品包括PDA，MP3、智能手機等手持設備的市場需求逐步擴大，產品間的競爭也愈發激烈，降低產品的設計成本，提升產品的市場競爭力成為嵌入式系統開發者所面臨的重大挑 ...

引言 加速度傳感器一直是振動測試中的重要元件。ADXL203加速度計是美國模擬器件（AD）公司的新型單芯片雙軸傳感器，測量范圍是±1.7g.可以承受3500g振動沖擊。相對于傳統的加速度計，他的 ...

光開關是光通信網絡的重要功能器件，MEMS光開關是最具發展前景的光開關之一。在簡介不同種類光開關原理特點的基礎上，詳細分析了當前主要的MEMS光開關的分類、結構、工藝與性能特點，并給出這一 ...

微型傳感器的特點 傳統的傳感器件因其制作工藝與半導體IC 工藝不兼容,所以無論在性能、尺寸和成本上都不能與通過IC 技術制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號處理器件相適應,于是 ...

利用MEMS加速度傳感器設計了雙軸傾角計,并采用單片機進行了線性化和溫度補償,傾斜角以模擬量和數字量2種形式輸出。該傾角計體積小、重量輕、精度高,能夠很好地滿足MAV姿態控制及其他應用的傾角 ...

本文闡述了一種基于MEMS 技術的芯片ADXL202 的應用設計與集成。介紹了ADXL202 的測試原理和主要參數設計原則,然后利用其集成了一種無線加速度傳感器并進行了測試。實驗結果表明:ADXL202 非常適 ...