宏微驅動定位系統滑模變結構控制的研究

發布時間：2010-3-3 11:13 發布者：諸葛孔明

內容摘要：本文研究了具有宏/微雙重驅動定位工作臺的滑模變結構控制技術，該工作臺采用直線電機進行大行程位移驅動，來保證較大的工作行程和較快的響應速度，采用壓電陶瓷微位移器完成精密位移驅動，利用光柵尺實現閉環位移反饋，可以實現 100mm 的工作行程，0.01μm 的重復定位精度。

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宏微驅動定位系統滑模變結構控制的研究.pdf (174.32 KB)

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