工釆網FS1015系列微機電氣體質量流量傳感器是專門為各類醫學用氣體的測量和過程控制而設計的。產品采用微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。
FS1015系列微機電氣體質量流量傳感器產品特點： 專為呼吸機和麻醉機的流量計量需求而設計 高靈敏度，應用熱式質量流量計原理可測量最低至8mm/sec的流體流量 無旁通結構，低壓損 傳感器的零點穩定度高 經消毒液殺菌處理后可重復使用 自動轉換量程的開關設計提高了測量精度 主機設備上的用戶界面可輕松實現線性輸出 FS1015系列微機電氣體質量流量傳感器機械圖：
FS1015系列微機電氣體質量流量傳感器技術參數：
技術參考資料： 
氣體質量流量傳感器 - FS1015.pdf
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