GXHT30 是中科銀河芯開發的新一代單芯片集成溫濕度一體傳感器。它基于中科銀河芯極微弱信號檢測設計平臺以及MEMS 工藝設計平臺開發完成。在硅基 CMOS 晶圓上集成高靈敏度 MEMS 濕敏元件,從而可以減少多芯片信號傳輸 ...