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數字全息技術對比傳統AFM、激光掃描共聚焦顯微鏡最大的特點是無需掃描實時成像的方式，只需0.001秒抓拍單張圖像即可得到樣品實時三維形貌。

資料來自lyncee tec數字全息顯微鏡。采用數字全息技術，采用CCD記錄物光與參考光干涉形成的全息圖，計算機根據全息圖中包含的相位信息實時數值重建得到物體三維形貌信息。由于采用高精度激光，縱向提供了激光干涉級別的亞納米精度。

表征MEMS器件的實時動態響應，可以訪問www.raysci.com了解DHM的應用。