MEMS將成為21世紀(jì)的重要技術(shù)途徑和國家經(jīng)濟(jì)新的增長點(diǎn)，隨著MEMS的創(chuàng)新應(yīng)用，MEMS的應(yīng)用和發(fā)展在我們?nèi)伺c人之間、人與周邊環(huán)境的互聯(lián)和信息的交互中起到越來越重要的作用。隨著物聯(lián)網(wǎng)爆發(fā)性發(fā)展及工業(yè)4.0的出 ...
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