MEMS傳感器是當(dāng)前芯片制造領(lǐng)域火熱的話題之一，智能手機(jī)、新能源汽車以及各類智能穿戴，會(huì)消耗大量MEMS傳感器。對(duì)于很多MEMS傳感器生產(chǎn)商來(lái)說(shuō)，提升MEMS傳感器的質(zhì)量是拓展市的關(guān)鍵。近年來(lái)，MEMS傳感器的小型化趨勢(shì)愈發(fā)明顯，而檢測(cè)試需求正在持續(xù)提升。

MEMS傳感器的分類復(fù)雜，全球每年消耗的MEMS傳感器數(shù)以億計(jì)，這些MEMS傳感器的被廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、汽車電子、智能制造等領(lǐng)域。由于不同MEMS器件的功能和性能都存在差異，以往的測(cè)試方案都是采用定制化的儀器。造價(jià)高昂的測(cè)試方案導(dǎo)致MEMS傳感器廠商的測(cè)試成本提升，最終由消費(fèi)者買單。

在萬(wàn)物互聯(lián)時(shí)代，MEMS測(cè)試技術(shù)隨著市場(chǎng)需求日漸成熟，以SPEA為代表的MEMS半導(dǎo)體自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備服務(wù)商正在努力實(shí)現(xiàn)快速，高精度、低成本的檢測(cè)。作為國(guó)際領(lǐng)先的高性能MEMS傳感器測(cè)試設(shè)備供應(yīng)商之一，SPEA推出過(guò)多款MEMS測(cè)試設(shè)備，它們滿足廠商對(duì)測(cè)量精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性的苛刻要求。

SPEA的MEMS測(cè)試設(shè)備結(jié)合了快速和溫和的取放處理、可靠的接觸和完整的最終測(cè)試能力，包括電氣測(cè)試、功能測(cè)試和校準(zhǔn)的物理激勵(lì)以及三溫?zé)嵴{(diào)節(jié)。從設(shè)備編程到生產(chǎn)控制，SPEA自主開(kāi)發(fā)應(yīng)用軟件可以精準(zhǔn)管理每一項(xiàng)細(xì)節(jié)。

SPEA的MEMS測(cè)試儀能夠完美地復(fù)制各種設(shè)備的真實(shí)工作條件，在激勵(lì)應(yīng)用期間與測(cè)試資源的持續(xù)連接使設(shè)備能夠準(zhǔn)確地驗(yàn)證設(shè)備是否正常工作。測(cè)試資源可以嵌入到激勵(lì)單元中，或安裝在一個(gè)緊湊的、只有測(cè)試頭的測(cè)試儀中。

此外，多個(gè)刺激可以組合在一個(gè)測(cè)試單元中，以是西安組合型MEMS單元測(cè)試，如環(huán)境傳感器（壓力+濕度+氣體+溫度）或?qū)Ш絺鞲衅鳎�加速度�?jì)+陀螺儀+指南針）。

得益于在MEMS測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域的長(zhǎng)期積累，SPEA已在MEMS測(cè)試設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試方案、售后服務(wù)等方面占據(jù)了先機(jī)，并建立了完整的業(yè)務(wù)流程和供應(yīng)鏈體系，其MEMS測(cè)試設(shè)備已廣泛應(yīng)用于MEMS聲學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS加速度傳感器、MEMS陀螺儀傳感器、MEMS組合慣性傳感器、MEMS磁傳感器、MEMS微流控系統(tǒng)、射頻MEMS等數(shù)百種傳感器測(cè)試。

SPEA可以為全球MEMS傳感器設(shè)備制造商提供完整解決方案和良好的本地化支持。除了消費(fèi)電子、新能源汽車及醫(yī)療領(lǐng)域的MEMS器件檢測(cè)，SPEA正在進(jìn)一步開(kāi)拓元宇宙、智能穿戴、航天航空等市場(chǎng)，為更多客戶提供更智能化、更低成本、更高效的MEMS傳感器測(cè)試儀器，SPEA有望成為MEMS測(cè)試領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者。